チャンバー サブ･システム
メタル・ペデスタル
ペデスタル・デザイン、開発、製造サービス
ハイ･パフォーマンスなペデスタル・ソリューションを半導体チャンバーテクノロジーのワールドリーダーがお届けします。
信頼性の高い製品パフォーマンス、高歩留まり、低所有コストなどがサイクル寿命保証に含まれるような要求の厳しい半導体市場において、タラテクノロジー社のペデスタルは御社のリスクを低減、コスト抑制をお助けします。
タラテクノロジー社の経験豊富な開発、デザイン、製造チームは50年以上におけるベロー部品の知識と最新のチャンバー技術を組み合わせ、御社ご要求を超える製品を作ります。弊社エンジニアは、信頼性アップ、パーティクル発生の低減そして均熱性が向上するようなデザイン･ソリューションと最新のペデスタルコーティングを実現するために御社と連携し、PVD、CVD、エッチ・プロセス・システムの歩留まり改善と長ライフ化に努めます。
タラテクノロジー社は、完成品のライフ寿命を通じて、部品、システム、コーティング･ソリューションを橋渡しする専門技術を備えたプロセス・チャンバー・テクノロジーのリーダーです。