チャンバー サブ･システム
ペデスタル・リファービッシュ
デザイン、製造、試験、修理
ハイ･パフォーマンスなペデスタル・ソリューションを半導体チャンバーテクノロジーのワールドリーダーがお届けします。
タラテクノロジー社はペデスタルとヒーターテーブルの長ライフ化も可能にします。弊社の診断、リファービッシュサービスでアッセンブリのパフォーマンスは新品同様もしくはそれ以上にもなります。受け入れ検査、中間データ、最終保証は体系的に記録され、お客様にオンラインでご確認いただけます。
タラテクノロジー社は社内のPVD、CVDオペレーションから工程の制約やペデスタル・アッセンブリの重要な特性についての独特の理解を持ち合わせています。弊社はファブの条件をシミュレーションしたチャンバー環境での破損試験基準の計画、評価を行うことができます。
タラテクノジー社の強み:
- 総合的試験プログラム
- システム、サブ･システム機能
- チャンバー･ペデスタル／テーブルのベークアウトと試験
- ベース・プレッシャー／レート・オブ・ライズ／均熱
- ファブ環境を想定したプロセスチャンバーでのシステム試験
- 完全なペデスタル診断＆修理プログラム
- 開発における低リスク
- エンドユーザー様の検証を省くサービス
- オンラインでのリアルタイムなペデスタル・データ記録