チャンバー　サブ･システム

静電チャック・ペデスタル

A Proven Partner in the Semiconductor Industry

ハイ･パフォーマンスなペデスタル・ソリューションを半導体チャンバーテクノロジーのワールドリーダーがお届けします。

タラテクノロジー社は、世界大手の半導体製造装置メーカーやウェハーファブに信頼のおけるシステムとソリューションを提供しています。弊社の認められたペデスタル技術、製造、試験、修理の技能とシックス・シグマ･フォーカスは、製品のライフサイクルを通じて、工程の問題を解決し、パフォーマンスを向上させ、そして所有コストを低減します。タラテクノロジー社のアッセンブリは、今日使われている最新鋭の装置のプロセスに影響する重要な要素です。

タラテクノロジー社はPVD用静電チャック（ESC）を10年以上生産しています。世界最大手の装置メーカー様向けにアルミや銅バリアーシード配線工程用のESCを150mmから300mmにわたり7000台以上のESCを生産しています。加えて、弊社ではESCのパフォーマンスの最適化を可能にするために必要なコーティング工程も行っております。

タラテクノロジー社は、質の高い優れたベロー部品とアセンブリー製造における50年以上のベルファブ（Belfab®）経験と、最新のチャンバーテクノロジー、コーティング、試験能力を組み合わせ、貴社がお持ちの問題解決のお手伝いをし、研究室から製造現場までのコスト向上に務めます。