製品

チャンバー サブ・システム

タラテクノロジー社は、ヒーター・ペデスタル, PVD用静電チャック(ESC)チャンバー部材を含むプロセスに重要なチャンバー・サブ・システムのワールドクラスの製造業者です。. 弊社のチャンバー・サブ・システムのお客様には、既存製品や工程の所有コスト改善に取り組まれている世界最大手の半導体製造装置メーカーやチップ製造メーカーがおられます。

過去10年間で1万2千ケ以上のウェハー・ペデスタルを生産し、タラテクノロジー社はお客様に最良のアッセンブリと試験環境を提供する経験と製造ノウハウを有しています。

タラテクノロジー社は、PVDとCVDやチャンバー技術に対する幅広い経験と社内対応能力により、御社のチャンバー・システムに存在する障害を改善・克服するデザイン・ソリューションを見つけ、それを導入することをお助けいたします。

ISO9001とAS9100に認定されているタラテクノロジー社が御社に最先端のチャンバー・サブ・システム・デザインを提供いたします。